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全氟橡膠 FFPM
全氟橡膠FFPM全氟橡膠(Perfluoroelastomer)優(yōu)點(diǎn):· 最佳耐熱特性· 優(yōu)異的抗化學(xué)特性· 低Outgassing 特性· 優(yōu)異之抗Plasma特性缺點(diǎn):· 耐低溫特性較差· 原料價(jià)格較高· 生產(chǎn)難度較高?適用于：· 全氟系列產(chǎn)品廣泛地運(yùn)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及信息相關(guān)產(chǎn)業(yè)所運(yùn)用, 運(yùn)用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。
2021-05-18 51